離子氮化爐是在真空容器中使含氮淡薄氣體在直流電場中電離，正離子轟擊金 屬零件表面形成氮化層，以達到表面硬化的設備。
　　離子氮化對于球墨鑄鐵、合金鋼、不銹鋼、粉末冶金制品、鈦合金、高速鋼、工具鋼等均有明顯氮化效果。
離子氮化爐的組成：
　   離子氮化爐由爐體、輸電裝置、真空獲得系統、供電系統、供氣系統、溫度丈量五部門組成。
　　1、爐體由爐蓋、筒體、爐底盤和底架組成，其中爐蓋、筒體、爐底盤夾層通冷卻水，爐內設有不銹鋼，合金鋁雙層隔熱屏，爐體上設有雙層鋼化玻璃，以供離子氮化過程中觀察爐內情況之用。
　　2、爐蓋上設有陰極輸電裝置兩套，帶熱電偶懸掛柱一套，其上裝有懸掛盤，用戶應根據所處理零件設計吊具，通過吊具將工件吊在懸掛盤上。
　　3、爐體的真空獲得系同一般由兩臺旋片式真空泵及串有碟閥的管道系統組成，碟閥的作用是通過封閉或旋轉不同的角度調節抽氣量以維持不同進氣量前提下的爐內壓強，真空度的丈量用配套的真空計讀出真空值。
　　4、爐體的供氣管入口設在爐殼筒體上，氫定標/氮定標的轉子流量計各一只
　　5、熱電偶經帶熱電偶懸掛柱插入爐內，進行模擬丈量，由儀表記實溫度，進行P、I、D控溫。